로터 시스템
건식 진공 펌프의 동력 코어는 정밀하게 장착된 로터 어셈블리로, 일반적으로 2~3개의 나선형 또는 갈고리 모양의 로터로 구성됩니다-. 이러한 고정밀-금속 로터는 미크론-수준의 간격으로 서로 맞물려 역-회전을 활용하여 흡입구에서 배출구 방향으로 가스를 추진합니다. 나선 또는 원형 아크 프로파일과 같은-로터의 고유한 프로파일 설계는-펌핑 효율을 결정합니다. 회전 속도는 3,000~6,000rpm에 도달할 수 있고 단일{12}}압축 비율은 10:1을 초과할 수 있습니다.
씰링 구조
오일{0}}밀봉 펌프와 달리 건식 펌프는 삼중-밀봉 메커니즘을 통해 진공 무결성을 유지합니다.
미로 씰: 로터 끝에 위치한 다단계의 구불구불한 채널은 공기 흐름 저항을 활용하여 누출을 차단합니다.
가스 배리어: 불활성 가스가 중요한 간극에 주입되어 공압식 압력 배리어를 생성합니다.
특수 코팅: 로터 표면은 PEEK(폴리에테르 에테르 케톤)과 같은 재료로 코팅되어 내마모성과 마찰 계수 감소를 모두 제공합니다.
이러한 설계 기능은 누출율을 0.5 Pa·m³/s 미만으로 유지하여 반도체 제조와 같은 산업의 엄격한 청결 요구 사항을 충족합니다.
냉각 모듈: 지속적인 작동을 위한 "온도 보호 장치"
오일 기반 윤활이 없기 때문에 건식 펌프에는 지능형 열 관리 시스템이 필요합니다.
공기 냉각: 원심 팬과 결합된 알루미늄 합금 열 방출 핀은 생성된 열의 최대 60%를 방출합니다.
수냉식: 내부 구리-관 물 순환 루프는 공냉식보다 3배 더 높은 열 교환 효율을 제공합니다.
상-변화 냉각: 특정 모델은 히트 파이프 기술을 사용하여 순수 구리보다 최대 100배 더 높은 열전도율을 달성합니다.
